製品・技術

Products&Technology

テクノクオーツは、高純度石英ガラス、結晶シリコン材からなる精密加工部品の製造および販売を主力事業としております。
高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに世界中のお客様にパーツ供給しております。

石英ガラス加工製品の事例

半導体製造プロセスや理化学用途で使用される石英ガラス加工製品です。

石英リング

大口径チャンバー
(イメージ図)

リアクター

分光光度計⽤セル

応用加工製品

異種材封入プレート
(拡散接合品)

インナー管
(内壁セラミックス溶射)

火炎加工製品

主に、半導体製造装置に使用される反応管や石英ボート・洗浄槽などを製作しています。テクノクオーツでは300mm ウェハーに対応した大型ボートから細密な部品まであらゆるサイズ・形状の火炎加工製品を提供することが可能です。

縦型石英ボート

半導体製造装置向けの縦型石英ボート。 縦型・横型の各種形状が製作可能です。

石英反応管

300mm ウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。

石英台座

ロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品が製作可能です。

スパイラル管

石英チューブによる複雑な形状加工。

ベルジャー

板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。

機械加工製品

機械加工製品は、主にダイヤモンド工具を利用して作られたリングやプレート状の製品を製作しています。
テクノクオーツではいち早く半導体製造装置・液晶製造用装置に対応した大型かつ精密な石英・シリコン製品を手がけ、独自の加工技術生かした製品を提供しております。

ガス分散板

精密穴加工を行った石英板。φ0.1mmの微細穴加工にも対応します。

石英リング

さまざまな形状のリング製品の製作が可能。

結晶シリコン加工製品の事例

半導体・FPD製造プロセスで使⽤される結晶シリコン材の加工製品です。
大型パーツでは、多結晶シリコン材などが利⽤されます。

ガスシャワープレート

大型プレート(□800㎜)

その他技術・サービス

微細加工技術

超精密機械加工により小径穴や3次元的微細流路の形成を可能にし、アイディアに応じた加工をご提案いたします。

4ch試料導入チップ
(内部流路付き)

マイクロミキサー
(内部流路付き)

パターン加工
(ウェットエッチング)

⽤途

マイクロチップ/マイクロリアクタ/マイクロミキサー
独⾃の接合技術により、耐圧強度の⾼いマイクロチップを製作いたします。

登録済み特許
特許4729763号 基板のエッチング方法
特許4841063号 マイクロチャンネル構造体およびその製造方法

洗浄サービス

洗浄対象プロセス

  • CVD
  • スパッタリング
  • イオンミリング
  • ドライエッチング(半導体・液晶)
  • エピ

※その他プロセスについてはご相談ください。

パーツ材質

セラミックス,シリコン,金属(SUS、Al、ハステロイ),
コーティング品(アルマイト等)

洗浄対象事例

膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使⽤されるセラミックス・⾦属パーツの表面付着膜を除去することが可能です。
⺟材に極⼒ダメージを与えない洗浄方法を採⽤しておりますので、初期表面を維持したい場合に有効です。

パーツ材質

  • セラミックス
  • シリコン
  • 金属(SUS、 AI、ハステロイ)
  • コーティング品(アルマイト等)

耐プラズマ表面処理

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。

密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系)で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。

フッ素樹脂コーティング

耐熱・耐薬品・耐摩耗性に優れた高純度PFAで石英ガラス基材を被覆することができます。
PFA=テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体

製品特長

  • 発塵抑制、コンタミ低減
  • 優れた耐薬品性と耐熱性
  • 耐摩耗性が高い
  • 高い密着性
  • コーティング層の再生可能

石英ガラス基材への
PFAコーティング事例

次世代パーツ管理技術

ハンディターミナルやコードリーダーを用いて、石英ガラス母材の肉中にマーキングした図形コードを認識させることで、トレーサビリティ管理の精度や作業性の向上を図ることができます。用途に応じて、1次元や2次元コード、位置合わせ、識別マーク等をマーキングすることができます。

平面基材

細管・円筒基材

登録済み特許
特許6412156号 管理情報を設けた製品

ポーラス構造体(多孔質自立膜)

多孔質の皮膜を基材からダメージレスで分離させる自立膜製法により、
セラミックスや高融点金属材料からなるポーラス構造体を低コストで製造することができます。

大表面積、断熱、軽量等の多孔質特性を生かす用途で有効です。

登録済み特許
特許第5849083号 多孔質構造体の製造方法及び多孔質⾃⽴膜

各種分析評価

⾃社内の品質管理や試作品の評価として
素材や加工物の様々な分析評価を⾏っています。

SEM-EDX

加工⾯の表⾯観察
(SEM 2000倍)

微細加工品の形状評価
(レーザー顕微鏡)

熱特性評価
(⾼温粘性試験)

機械特性評価
(曲げ強度試験)

光学特性評価
(分光測定)

数値シミュレーション
(構造解析)