<< 洗浄対象プロセス >>
●CVD
●スパッタリング
●イオンミリング
●ドライエッチング（半導体･液晶）
●エピ
※その他プロセスについてはご相談ください。
パーツ材質： セラミックス，シリコン，金属（SUS、Al、ハステロイ）
コーティング品（アルマイト等）
<< 洗浄事例 >>
膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス･金属パーツの表面付着膜を除去する
ことが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、初期表面を維持したい
場合に有効です。
２００７年９月より洗浄事業（受託）を開始しました。
テクノクオーツは主に半導体・液晶製造措置関連及び理化学機器に使用される
高精度な石英・シリコン製品を提供します。
◆４ｃｈ試料導入チップ◆
◆ダイシングソー溝加工◆
超精密機械加工により小径穴や3次元的微細流路の形成を可能にし
アイディアに応じた加工をご提案いたします。
詳しくはこちらの資料をご覧ください。
◆縦型石英ボード◆
◆石英反応管◆
◆石英台座◆
◆ベルジャー◆
さまざまな形状のリング製品の製作が可能。
◆ガス分散板◆
◆石英リング◆
◆お気軽にお問合せ下さい。
お問い合せ先 営業本部（東京営業所）
〒160-0023 東京都新宿区西新宿5-1-14
出光西新宿ビル
【 本 社 】 Tel. 03-5351-0751 Fax. 03-5351-0761
半導体製造装置向けの
縦型石英ボート。
縦型・横型の各種形状が
製作可能です。
300mmウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。
石英のロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品を製作することが出来ます。
板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。
精密穴加工を行った石英板。φ0.1ｍｍの微細穴加工にも対応します。
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