テクノクオーツ は主に半導体・液晶製造装置関連及び理化学機器に使用される高精度な
石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。
◆縦型石英ボート◆
◆石英台座◆
◆ベルジャー◆
半導体製造装置向けの縦型石英ボート。 縦型・横型の各種形状が製作可能です。
 
石英のロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品を製作することが出来ます。
 
板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。
 
 
   
◆ガス分散板◆
◆石英リング◆
◆石英反応管◆
精密穴加工を行った石英板。
φ0.1mmの微細穴加工にも対応します。
さまざまな形状のリング製品の製作が可能。
 
300mmウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。
 

半導体・FPD製造プロセスで使用される結晶シリコンの製品です。
大型パーツでは、多結晶シリコン材などが利用されます。
◆Siガスシャワープレート◆
◆Siリング◆
精密穴明けを行ったシリコンプレートです。
高アスペクト比の微細深穴加工も可能です。
様々な形状のリング製品が製作可能です。



   
◆4ch試料導入チップ◆
◆ダイシングソー溝加工◆
 超精密機械加工により小径穴や3次元的微細流路の形成を可能にし
アイディアに応じた加工をご提案いたします。
 << 用途 >>
    マイクロチップ/マイクロリアクタ/マイクロミキサー
◎独自の接合技術により、耐圧強度の高いマイクロチップを製作いたします。
 詳しくはこちらの資料をご覧ください。
◆石英ガラス製マイクロチップ(PDF形式:950KB)
登録済み特許
特許4841063号 マイクロチャンネル構造体およびその製造方法
特許4729763号 基板のエッチング方法

 2007年9月より受託洗浄サービスを開始しました。
  << 洗浄対象プロセス >>
 ●CVD
 ●スパッタリング
 ●イオンミリング
 ●ドライエッチング(半導体・液晶)
 ●エピ



※その他プロセスについてはご相談ください。
    パーツ材質:
  セラミックス,シリコン,金属(SUS、Al、ハステロイ),
  コーティング品(アルマイト等)

<< 洗浄事例 >>
  膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス・金属パーツの表面付着膜を 除去することが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、 初期表面を維持したい場合に有効です。
  詳しくはこちらの資料をご覧ください。
◆受託洗浄サービス/ドライ洗浄・表面処理再生 (PDF形式:1,306KB)

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。  
 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系)
で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
 
詳しくはこちらの資料をご覧ください。
◆耐プラズマ表面処理/CVDイットリアコート製品 
(PDF形式:1,596KB)
 
 



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〒160-0023 東京都新宿区西新宿5-1-14
                    出光西新宿ビル


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