石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。
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テクノクオーツ
は主に半導体・液晶製造装置関連及び理化学機器に使用される高精度な 石英ガラス・シリコン・セラミックス製品を提供します。 |
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◆縦型石英ボート◆ |
◆石英台座◆ |
◆ベルジャー◆ |
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半導体製造装置向けの縦型石英ボート。
縦型・横型の各種形状が製作可能です。 |
石英のロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品を製作することが出来ます。 |
板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。 |
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◆ガス分散板◆ |
◆石英リング◆ |
◆石英反応管◆ |
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精密穴加工を行った石英板。 φ0.1ｍｍの微細穴加工にも対応します。 |
さまざまな形状のリング製品の製作が可能。 |
300mmウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。 |
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半導体･FPD製造プロセスで使用される結晶シリコンの製品です。 大型パーツでは、多結晶シリコン材などが利用されます。 |
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◆Siガスシャワープレート◆ |
◆Siリング◆ |
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精密穴明けを行ったシリコンプレートです。 高アスペクト比の微細深穴加工も可能です。 |
様々な形状のリング製品が製作可能です。 |
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◆４ｃｈ試料導入チップ◆
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◆ダイシングソー溝加工◆
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超精密機械加工により小径穴や3次元的微細流路の形成を可能にし アイディアに応じた加工をご提案いたします。 |
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<< 用途 >>
マイクロチップ／マイクロリアクタ／マイクロミキサー ◎独自の接合技術により、耐圧強度の高いマイクロチップを製作いたします。 | |
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詳しくはこちらの資料をご覧ください。 ◆石英ガラス製マイクロチップ(PDF形式：950KB) |
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| ２００７年９月より受託洗浄サービスを開始しました。 |
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<< 洗浄対象プロセス >> ●CVD ●スパッタリング ●イオンミリング ●ドライエッチング（半導体･液晶） ●エピ ※その他プロセスについてはご相談ください。 |
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パーツ材質： セラミックス，シリコン，金属（SUS、Al、ハステロイ）， コーティング品（アルマイト等） |
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<< 洗浄事例 >> |
| 膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使用されるセラミックス･金属パーツの表面付着膜を 除去することが可能です。母材に極力ダメージを与えない洗浄方法を採用しておりますので、 初期表面を維持したい場合に有効です。 |
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詳しくはこちらの資料をご覧ください。 ◆受託洗浄サービス／ドライ洗浄・表面処理再生 (PDF形式：1,306KB) |
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| 「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 |  |
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密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系） で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。 |
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詳しくはこちらの資料をご覧ください。 ◆耐プラズマ表面処理／CVDイットリアコート製品 (PDF形式：1,596KB) |
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| ◆お気軽にお問合せ下さい。 | |
| お問い合せ先 営業本部（東京営業所） | |
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〒160-0023
東京都新宿区西新宿5-1-14 出光西新宿ビル 【 本 社 】 Tel. 03-5351-0751 Fax. 03-5351-0761 |