素材

Raw materials

優れた耐熱性・高純度・透過性を併せ持つ高品質石英ガラス素材

石英ガラス素材について

石英ガラスインゴット(重量約3トン)

石英ガラスの種類を大別すると、天然水晶粉を溶融することで作られる溶融石英ガラスと、高純度の四塩化ケイ素を原料として化学的に合成して作られる合成石英ガラスに分類されます。
主成分のSiO2以外に水素や塩素がSi-OH基やSi-Cl基などの形で若干(多いもので0.1%程度)存在するものもありますが、金属不純物は極めて少なく、多いものでも数10ppm(10万分の1)、少ないものでは10ppb(1億分の1)以下しかありません。
このように、高い純度はもちろんのこと、耐熱性、光の透過性、電気絶縁性に優れ、化学的にも極めて安定しているなど、多くの特性を持っています。

溶融石英ガラスの標準的な物理的特性

特性標準値
比重2.2×103kg/m3
硬度5.5-6.5(モース) 570KHN100
設計引張り強度4.8×107Pa(N/m2)(7000psi)
設計圧縮強度1.1×109Pa以上(160,000psi)
体積弾性率3.7×1010Pa(5.3×106psi)
剛性率3.1×1010Pa(4.5×106psi)
ヤング率7.2×1010Pa(10.5×106psi)
ポアソン比0.17
熱膨張率
(20~320℃)
5.5×10-7cm/cm・℃
熱伝導率
(20℃)
1.4W/m・℃
特性標準値
比熱670J/kg・℃
軟化点1683℃
徐冷点1215℃
歪点1120℃
固有抵抗
(350℃)
7×107Ω・cm
屈折率1.4585
収斂性 (nu値)67.56
音速(横波)3.75×103m/s
音速(縦波)5.90×103cm/s
音波減衰率11dB/m MHz以下

結晶シリコン素材について

大型結晶シリコン材(□800㎜)

シリコンは地球上で酸素に次いで2番目に多く存在する元素で、日本語では珪素(ケイ素)と呼ばれます。
自然界では通常、酸素と結びついて、珪石(二酸化シリコン)の形で土や砂の主成分として私たちの身近に存在しています。
半導体材料として用いられる結晶シリコンは、珪石を還元(酸素を分解)し、蒸留、精製によって高純度化されており、IC製作用基板として不可欠な材料となっています。
テクノクオーツでは、シリコン本来の純度を保ちながら、半導体製造装置向けの結晶シリコン製品を製造・販売しています。