優れた耐熱性・高純度・透過性を併せ持つ高品質石英ガラス素材 |
石英ガラス
には、天然水晶を溶融した透明石英ガラス、良質の天然ケイ石を溶融した不透明石英ガラス、高純度の四塩化ケイ素を原料とした合成石英ガラスがあります。 主成分のSiO2以外に水素や塩素がSi−OH基やSi−Cl基などの形で若干(多いもので0.1%程度)存在するものもありますが、金属不純物は極めて少なく、多いものでも数10ppm(10万分の1)、少ないものでは10ppb(1億分の1)以下しかありません。 このように、高い純度はもちろんのこと、耐熱性、光の透過性、電気絶縁性に優れ、化学的にも極めて安定しているなど、多くの特性を持っています。 |
◆石英の標準的な物理的特性◆ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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シリコンは、地球上で酸素に次いで2番目に多く存在する元素で、日本語では珪素(ケイ素)と 呼ばれます。自然界では通常、酸素と結びついて、珪石(二酸化シリコン)の形で土や砂の主成分として私たちの身近に存在しています。 半導体材料として用いられるシリコンは、珪石を還元(酸素を分離)し、蒸留、精製によって高純度化されており、IC製作用基板として不可欠な材料となっています。 テクノクオーツでは、シリコン本来の純度を保ちながら、半導体製造装置向けのシリコン製品を製造・販売しています。 |
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