| 石英玻璃・硅的加工产品 -Products Guide- |
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Techno Quartz
主要提供高精度石英玻璃、硅片、陶瓷产品，广泛应用于半导体、 液晶制造装置及科学研究机器相关领域。 |
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◆立式石英舟◆
应用于半导体制造装置的石英舟。可制作立式、卧式等各种形状。
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◆石英台座◆
通过对石英的棒、管的焊接搭建，可制作各式各样的石英零部件。
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◆Bell Jar◆
板厚均匀的高精度焊接钟形石英容器。
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◆气体分散板◆
加工精密孔的石英板。可对应φ0.1ｍｍ细微孔的加工。 |
◆Quartz Ring◆
可以制作各式各样的环状产品。
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◆石英反应管◆
可制作对应300mm圆晶片的各种大型反应管。
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半导体・ＦＰＤ制造制程中所需的结晶硅产品。 大型零件一般使用多结晶硅材等。 |
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◆Si Gas Shower Plate◆
加工精密打孔的硅板。可做高长宽比的微细钻孔加工。 |
◆Si Ring◆
可制作各种形状的环产品。 |
| 微细加工技术的介绍 -Products Guide- |
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◆４ch试料导入芯片◆
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◆切割锯槽加工◆
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通过超精密机械的加工、可形成小径孔及三维的微细流道， 根据构思，提供相应的加工方案。 |
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<< 用途 >>
微芯片／微型反应器／微型搅拌机 通过独特的接合技术，可制作高耐压强度的微芯片。 |
| 清洗事业的介绍 -Cleaning Services- |
| 自2007年9月起开始接受清洗委托服务。 |
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<< 清洗流程 >> ・CVD ・溅镀 ・离子研磨 ・干蚀刻（半导体、液晶） ・晶膜 关于其他制程可随时咨询。 |
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零件材质： 陶瓷、硅、 金属（SUS、Al、HASTELLOY）， 镀膜产品（铝氧化膜等） |
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<< 清洗事例 >> 尽管因膜种而异，CVD等成膜制程中使用的陶瓷，金属零件表面附着的膜也可去除。 因为采用的是尽量避免主要材料破损的清洗方法，所以具有维持初期表面状态的效果。 |
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| 耐等离子表面处理的介绍 -CVD Yttria Coated Parts- |
| CVD 氧化钇为耐等离子性强的透明性保护膜。 |  |
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| 它是一种密封性高的细密膜，应用于等离子处理流程（F系列、CI系列）中，作为窗户类的保护膜极其有效。 | ||
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