火焰加工设备 -Equipment introduction-
所谓火焰加工设备就是对应用于半导体装置中的石英反应管、石英舟、清洗设备所需的石英槽等焊接加工品进行加工,是加工过程中不可缺少的设备。
泰谷诺石英为对应大口径化半导体装置用的产品,已率先引进了12英寸加工所需的大型玻璃车床,立式反应管所需的大型电气炉等设备。
其次,为彻底避免焊接加工过程中所造成的污染,积极导入了无尘焊接室等的设备。
◆大型玻璃车床◆
半导体装置用的大型反应管等,最大可加工管径为550mm
◆大型电气炉◆
焊接后可升温至退火所需的温度1000℃以上。
◆无尘焊接室◆
为避免焊接时被不纯物质污染而设置的焊接室。 在无尘的环境下进行焊接的精细加工。



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